ドイツMarsurf UD 120複合プロファイルと粗さ測定器
ドイツMarsurfLD 120複合プロファイルと粗さ測定器
ドイツMahr Marsurf UD 120複合プロファイルと粗さ測定器
ドイツMahr MarsurfLD 120複合プロファイルと粗さ測定器

ドイツMahr MarSurf UD 120/LD 120輪郭と粗さ測定が2つに統合されている
Mahrの先進的な計量技術を用いて、輪郭測定と粗さ測定は1回の測定を経て同時に解決することができる。この卓越した理念を受けて、Marsurf UD 120とMarsurf LD 120はナノスケールの解像度の高精度な測定を提供することができます。その中の特許技術は、測定ヘッド交換装置、測定操作による自動識別システムなど……

組合せプロファイルと粗さの測定

・ドイツMahr MarSurf UD 120組合せプロファイルと粗さ測定器組合せ
MarsurfUD 120複合プロファイルと粗さ測定器は、ナノスケールの分解能を有するプロファイルと粗さの評価を一度に測定するための汎用基礎装置である。

・ドイツMahr MarSurfLD 120組合せプロファイルと粗さ測定器
ドイツのMahr MarSurfLD 120粗さプロファイル測定器は長年にわたり顧客市場で好評を博し、プロファイルと粗さ測定の先進技術を代表している。その卓越した技術パラメータ、例えば残留誤差Rz＝35 nm、動的測定力制御範囲0.5 ~ 30 mNなどは、設備が要求の精度に達することを保証し、最高精度のワーク測定要求であっても。
汎用ソフトウェアと自動制御理念の支持を受けて、Marsurf UD 120複合プロファイルと粗さ測定器はMahrの先進技術を備えたプロファイルと粗さ測定ステーションを提供した。ソフトウェア制御は、現在「MarWin」と呼ばれているソフトウェアプラットフォームの上に構築され、モジュール化と汎用性、操作の容易さを実現していますします。MarsurfUD 120粗さプロファイル測定器はXCR 20 CNCソフトウェアパッケージをランダムに搭載し、特にプロファイルと粗さについて幅広い測定と評価機能を提供している。駆動軸とコラム昇降軸は操作レバーに同座して制御することができ、プログラムによって制御することもできる。
・説明
-一度の測定による粗さと輪郭評価
より少ない時間、より速い操作、より信頼性の高い結果、より効率的な作業、たった1つの測定で、すべての粗さと輪郭パラメータの結果が得られます。他のタスクを完了する時間を増やすことができます！
-最小許容差ワークピースに最適な最新の変換テクノロジー
装置は大規模な測定範囲で高解像度で高精度な測定を実現できるため、加工タスクの許容誤差を小さくすることができ、新しい課題を担うことができます。
-革新的なアーム移動概念による最高安定性の実現
アームを移動し、ブリッジ構造設計を採用し、最大の剛性、最小の測定振動と垂直度を保証した、これにより、使用中に任意のサイズのブリッジ構造を構築できます！
-アームの磁気マウント
磁気の取り付け設計は、システムの高周波数使用、衝突安全保護、長寿命を実現することができる。

ドイツahrMarMarSurfUD 120/LD 120測定ステーションの原理

・測定ステーション構成部
ドライバMarSurf UD 120/LD 120
MarsurfUD 120/LD 120ドライバは0.1 mmから120 mmの測定ストロークを容易に実現でき、速度制御は0.1から2 mm/s以内で、X軸は高精度格子尺を採用しているため、自動位置決めを実現することができる。
・測頭システムの動作原理
測頭の動作原理は測先を持つロッカシステムに基づいており、ロッカの他端は回折格子であり、ロッカの揺動角度を測定することができる。発光ダイオードから発せられた光が回折格子に照射され、干渉パターンが生成される。測定チップの上昇と下降はいずれも受信チップの干渉パターンを変化させ、その後の評価回路はグリッドの位置を決定することができ、測定チップの位置を決定することができる。
移動する回転電機は、Z方向の測定子の位置決めに使用され、測定子の運動方向を決定し、測定力制御を実現する。
一般的なほとんどのアプリケーションを満たすために、MarsurfLD 120ヘッドセットにはデフォルトでLD A 14-10-2 90°が搭載されています。LD A14-10-500 (LD 120), LD A 14-10-2 60°（UD 120）のいくつかのアームを使用します。測定ヘッドの剛骨格構造は測定時の高直線性、高精度、高信頼性を保証した。
他の異なる測定タスクを満たすためには、複数の幾何学的寸法の測定ヘッドと測定チップが用意されています。あなたの測定タスクによっては、2μmのダイヤモンドチップを用いて粗さ測定をすることも、25μmの炭素鋼チップを用いて輪郭測定をすることも、ルビーボールを用いて測定することもできます。このような異なる測尖選択を用いて、短波と長波の輪郭構成部分はすべて1回の測回後に記録され、評価されることができる。
・UD 120／LD 120による測定プロセス

簡単、迅速、信頼性があり、ワークピースを一度に直接測定した結果：

ドイツMahr MarSurf UD 120複合プロファイルと粗さ測定器

・構成リスト
MarSurf UD 120測量所出荷リスト
注文番号6910046
コンピュータ、MarsurfXCR 20ソフトウェア6268382
内容：Midrange制御ボックスとソフトウェア
多言語版Win 7 62682 xx
19インチTFT液晶ディスプレイ5460043
Marsurf UD 120ドライバ6720817
含む：アームLD A 14-10-2/60°6852005
手動制御パネルMCP 21 7033935
測定ポストST 500 CNC、HZ調整付き
及び大理石プラットフォーム6710254
含む：制御モジュール6851376
測定ヘッドUD 120/Ld 120
測定ポストST 500に取り付ける6851360
安全装置UD 120/LD 120 7033457
キャリブレーション基準6820121
X/YテーブルCT 200 6710530
防振パッド6851368
・技術パラメータ
測定システム光学測定システム
ストローク長0.1 mm ~ 120 mm
ヘッド測定範囲10 mm～20 mm（ダブルレングスアーム採用）
標準測定チップLd a 14-10-2/60°、ダイヤモンド2μm、60° (6852005)
Z方向分解能2 nm
水平測定軸格子
X方向点距離0.25μm ~ 1μm
残留誤差60 nm
接触力は1 mn ~ 30 mn、ソフトにより調整可能
測定速度0.1 mm/s ~ 2.0 mm/s、0.1 mm増分増加でき、輪郭測定≦0.5 mm/s、粗さ測定用
復路速度
X方向位置決め速度最大4 mm/s
接触誤差0.2μm
距離測定表示誤差、MPeea ± (1 +2L/150) μm
例：距離50 mmを測定した場合、誤差は±1.66μm
角度測定誤差1.5 min
半径測定誤差MPerr≦10 mm±1.5μm
10 mm < r ≤ 100 mm ± (3r/20) μm
r > 100 mm ± (7.5 + 9r/40) μm
例：r 10 mm，誤差は±1.5μm
一般パラメータ
動作環境温度15°c ~ 30°c
推奨動作温度20°c±2 K
保管温度/輸送温度0°c ~ 40°c（専用輸送箱内）
相対湿度30%~ 80%
・添付ファイル
MarSurf UD 120/LD 120への簡単で正確なアーム交換
ほとんどのワークにとって、標準的に構成された測定ヘッドは、さまざまな測定位置で輪郭と粗さの測定を行うことができます。しかし、すべての測定タスクが1つの測定アームで達成できるわけではありません。例えば、小孔内の測定、深溝溝内の測定、上下両方向の測定、その他の測定タスクです。このとき、アームの交換も非常に簡単です。ツールは必要ありません。磁気クランプのアームは簡単に手で取り外して、別のアームに取り替えることができますが、数秒かかります。球形のロケータは、ミクロン単位で正確に位置決めされることを保証します。
交換したアームがキャリブレーションされている限り、キャリブレーションパラメータは保存されています。これは、アームを交換した後に再キャリブレーションする必要がないことを意味します。
操作のしやすさと時間の節約の観点から見ると、これはMarsurf UD 120の実質的な利点です！

ドイツMahr MarSurfLD 120複合プロファイルと粗さ測定器
・MarSurf LD 120測定ステーション出荷リスト
注文番号6910046
コンピュータ、MarsurfXCR 20ソフトウェア付き6268382
Midrangeコントローラとソフトウェアを含む
多言語版Win XP 62682 xx
19インチTFT液晶ディスプレイ5460043
MarsurfUD 120ドライバ6720814
含む：アーム
手動制御パネルMCP 21 7033935
ST 500 CNC支柱6710254
HZ調整と大理石スラブ付き
含む：制御モジュール6851376
UD 120/LD 120ヘッド
ST 500測定ポストに取り付けられる6851360
UD 120/LD 120安全保護装置7033457
キャリブレーション基準6820121
X/Y向テーブルCT 200 6710530
防振パッド6851368
・技術パラメータ
測定システム光学測定システム
ストローク長0.1 mm ~ 120 mm
ヘッド測定範囲10 mm～20 mm（ダブルレングスアーム採用）
標準測定チップLd a 14-10-2、ダイヤモンド2μm、90° (6852002)
Ld a 14-10-500, ルビー測球、500μm（6852003）
Z方向分解能2 nm
水平測定軸格子
X方向点距離0.05μm ~ 1μm
残留誤差35 nm
接触力0.5 mn ~ 30 mnはソフトで調整可能
測定速度0.5 mm/s ~ 2.0 mm/s、0.1 mm増分増加でき、輪郭測定≦0.5 mm/s、粗さ測定用
復路速度
X方向位置決め速度最大4 mm/s
接触誤差0.1μm
距離測定表示誤差、MPeea±（1+L/100）μm
例：距離50 mmを測定した場合、誤差は±1.5μm
角度測定誤差0.5 min
半径測定誤差MPerr≦10 mm±1.5μm
10 mm < r ≤ 300 mm ± (r/10) μm
r > 300 mm ± (30 + r/5) μm
例：r 10 mm，誤差は±1.5μm
一般パラメータ
動作環境温度15°c ~ 30°c
推奨動作温度20°c±2 K
保管温度/輸送温度0°c ~ 40°c（専用輸送箱内）
相対湿度30%~ 80%
・MarSurf LD 120付属品

MarSurf LD 120は最高の精度をもたらす
先に挙げたLD 120の技術パラメータ値が示すように、35 nmの残留誤差値、2 nmの分解能、0.5 ~ 30 mNの安定測定力、最小0.05μmの測定点距離、LD 120ヘッドはミクロ表面上とエッジ面取り上の正確な測定を可能にすることができる。しかし、お客様にとってより重要なのは、注文したデバイスがスムーズに検収されるかどうか、およびデバイスの能力が測定タスクの要件を満たすことができるかどうかです。
Marsurf LD 120は世界中の数百の顧客のテストと証明に合格している。機械技術、光学技術、制御技術、ソフトウェア技術の最適な相互作用使用により、測定の高精度を保証し、この装置の測定により寸法誤差をミクロンレベルに確実に制御することができます。

適用例